英特格WGPM0GGG2是美国Entegris（应特格）Gasketgard系列紧凑型全金属在线垫片气体过滤器

英特格WGPM0GGG2是美国Entegris（应特格）Gasketgard系列紧凑型全金属在线垫片气体过滤器‌，专为半导体超纯气体管线的高温高压极端工况设计，可直接替代标准1/4英寸VCR垫片安装。

核心技术参数

• ‌主体材质‌：烧结316L不锈钢过滤介质，焊接在316L不锈钢VCR垫片上，保持器为316不锈钢材质
• ‌接口规格‌：1/4英寸标准VCR接口，总长度仅25.00毫米（0.98英寸），无需额外占用管线空间
• ‌过滤性能‌：对直径大于0.3μm的颗粒去除率超过95%，满足半导体高纯气体的颗粒管控要求
• ‌耐压能力‌：最大工作压差可达10.4MPa（104bar，1508psid），适配高压工艺气体管线
• ‌耐温性能‌：惰性气体工况下最高工作温度可达400℃（752°F），覆盖绝大多数高温工艺场景
• ‌制造标准‌：在ISO认证的顶级洁净车间生产，全金属结构最小化焊接区域，大幅降低气体析出风险

产品核心特性

• ‌即装即用设计‌：直接替换标准1/4英寸VCR垫片，无需额外改造管线，安装对齐便捷
• ‌极端工况适配‌：专为高压、高温动态压力场景优化，保护下游敏感气体组件免受颗粒损伤
• ‌高洁净度保障‌：电抛光低硫316L不锈钢外壳，下游洁净度远高于普通工业过滤器标准
• ‌紧凑轻量化‌：体积远小于常规在线过滤器，大幅降低工程设计成本，适配狭小安装空间