MIDAS-E-XHF‌是霍尼韦尔Midas系列的2年延保版含氟特种气体检测智能传感器盒

MIDAS-E-XHF‌是霍尼韦尔Midas系列的2年延保版含氟特种气体检测智能传感器盒，专为半导体场景设计，核心检测三氟化氮与甲基氟。

核心技术参数

• ‌检测对象‌：三氟化氮（NF₃）量程0~40ppm，甲基氟（CH₃F）量程0~120ppm
• ‌传感器技术‌：三电极电化学检测原理，搭配NP1热解器模块使用
• ‌性能指标‌：分辨率0.2ppm，响应时间≤110秒，典型工况下传感器寿命≥24个月
• ‌工作环境‌：工作温度0~40℃，工作湿度10~90%RH，工作气压90~110kPa
• ‌适配主机‌：可接入MIDAS-T-004、MIDAS-T-006G等抽取式气体变送器，支持最远30米远程采样

适配场景与特点

• 专为半导体制造工艺场景设计，精准监测特种含氟气体泄漏
• 支持智能即插即用，内置电子校准证书，大幅降低现场校准工作量
• 搭载TempraSure™温度补偿技术，抗电磁干扰与气体交叉干扰能力强，防护等级IP66