WG3NS8RR2是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）旗下Wafergard® III NF Micro XL系列的在线全金属精密气体过滤器

WG3NS8RR2是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）旗下Wafergard® III NF Micro XL系列的在线全金属精密气体过滤器，是半导体超纯气体系统中常用的核心过滤元器件。

基础产品信息

• ‌品牌归属‌：美国ENTEGRIS（应特格），全球知名的高纯流体污染控制解决方案供应商
• ‌产品定位‌：专为超纯气体系统设计的高性能在线气体过滤器
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核心技术参数

• ‌过滤性能‌：过滤精度≥0.0015μm，颗粒保留率大于99.9999999%（9 LRV）
• ‌材质配置‌：滤芯为烧结镍膜，外壳采用电抛光VAR316L不锈钢
• ‌下游清洁度‌：大于0.01μm的颗粒含量＜0.03颗粒/升，满足半导体超纯气体严苛要求
• ‌表面处理‌：外壳内部抛光精度≤5 μin Ra，通过最小化焊接区域大幅消除释气
• ‌氦泄漏等级‌：合格标准为2×10⁻¹⁰ atm-ccc，实测可达1×10⁻⁹ atm-ccc
• ‌接口规格‌：1/4" 垫圈密封（与VCR接头兼容）外螺纹入口/出口，总长度84.1毫米（3.31"）

运行工况条件

• ‌最大入口压力‌：20MPa（200bar，2900psid）@20℃
• ‌压差耐受‌：最大正向/反向压差1MPa（10bar，150psid）
• ‌工作温度范围‌：惰性气体最高400℃（725°F）@35bar；腐蚀性/反应性气体最高50℃（122°F）@70bar
• ‌质保周期‌：原厂提供5年质保服务

典型应用场景

• 半导体超纯气体输送管线的终端精密过滤
• 高温工艺气体、动态压力波动工况的气体净化
• 新半导体工厂高纯气路系统建设与升级改造
• 适配绝大多数惰性气体和常规反应性气体的过滤需求