CBUG0S0S1是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）Optimizer® DI系列的液体光化学过滤器

CBUG0S0S1是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）Optimizer® DI系列的液体光化学过滤器，专为半导体光刻工艺的使用点（PoU）去离子水应用设计。

基础产品信息

• ‌品牌归属‌：美国ENTEGRIS（应特格），全球半导体污染控制领域核心供应商
• ‌产品定位‌：小胶囊型高纯液体精密过滤器，适配28nm及以上制程节点
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核心规格参数

• ‌过滤材质‌：膜层采用亲水性UPE材质，支撑层、端盖均为聚丙烯，无胶粘剂热封工艺
• ‌外形尺寸‌：直径Ø70mm，常规提供5"、10"、20"、30"、40"多种长度规格
• ‌过滤精度‌：支持0.1μm、0.22μm、0.45μm等多档精度可选，10"款有效过滤面积≥6.4 ft²
• ‌压差耐受‌：23℃环境下最大正向压差4.2bar，85℃环境下最大正向压差1.0bar
• ‌完整性测试‌：0.1μm规格23℃下水泡点≥3800mbar

典型应用场景

• 半导体光刻制程的去离子水终端使用点过滤
• 光化学试剂、高纯溶剂的终端精密除杂
• 光刻工艺机台端的流体污染控制，保障28nm及以上制程良率
• 对流体纯度要求极高的高端湿法制程配套过滤场景