WG3NSMSL2是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）品牌旗下的WafergardIII NF系列微型在线气体过滤器

WG3NSMSL2是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）品牌旗下的WafergardIII NF系列微型在线气体过滤器，是半导体超纯气体管路中常用的高精度全金属过滤元器件。

基础产品信息

• ‌品牌归属‌：美国ENTEGRIS（应特格），全球知名的高纯流体污染控制解决方案供应商
• ‌产品定位‌：专为超纯气体系统设计的紧凑型全金属精密气体过滤器
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核心技术参数

• ‌过滤性能‌：颗粒移除等级≥0.0015微米，颗粒保留率大于99.9999999%（9 LRV）
• ‌材质配置‌：滤芯为专利烧结镍膜，外壳采用电抛光VAR 316L不锈钢
• ‌下游清洁度‌：大于0.01μm的颗粒含量小于0.03个/升，满足半导体超纯气体严苛要求
• ‌表面处理‌：外壳内部抛光精度≤5 μin Ra，大幅降低管路释气风险
• ‌氦泄漏等级‌：合格标准为2×10⁻¹⁰ atm-cc/秒，实测可达1×10⁻⁹ atm-cc/秒

运行工况条件

• ‌最大允许工作压力‌：100℃环境下可达207 bar（3000 psi）
• ‌压差耐受‌：最大正向/反向压差35 bar（500 psid）
• ‌工作温度范围‌：惰性气体最高400℃，腐蚀性/反应性气体最高50℃
• ‌质保周期‌：原厂提供5年质保服务

典型应用场景

• 半导体超纯气体输送主管路与分支管路
• 高温工艺气体、动态压力波动工况的气体净化
• 新半导体工厂高纯气路系统建设与升级改造
• 适配绝大多数惰性气体和常规反应性气体（不建议用于CO、O₃和低含量氢化物掺杂剂气体）