WGMXMSRR4是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）品牌的一款工业精密过滤器

WGMXMSRR4是美国ENTEGRIS（应特格/英特格）品牌的一款工业精密过滤器，是半导体、平板显示等高端制造场景中常用的流体过滤核心元器件。

核心基础信息

• ‌品牌归属‌：美国ENTEGRIS（应特格），是全球知名的污染控制与流体管理解决方案供应商
• ‌产品类型‌：紧凑型全金属精密过滤器，属于该品牌Gasketgard在线垫片过滤器系列‌

适配与规格特征

• ‌接口类型‌：兼容1/2英寸外螺纹VCR接口，适配标准半导体工艺管路
• ‌产品定位‌：可直接替代标准1/2英寸VCR垫圈，大幅节省安装空间
• ‌典型应用场景‌：半导体制造、平板显示器生产、数据存储介质加工，覆盖散装气体输送、薄膜沉积、干蚀刻、离子注入、光刻等核心制程

核心功能优势

• 可精准控制工艺流中的微污染物，提升制程良率与设备运行效率
• 全金属结构适配强腐蚀性化学品、高纯度溶剂、光阻药剂等严苛工况
• 具备优异的化学兼容性，可满足高端制造环境下的各类工艺条件要求