WG2F02RR2是美国Entegris（英特格/应特格）旗下Wafergard系列的在线PTFE精密气体过滤器

WG2F02RR2是美国Entegris（英特格/应特格）旗下Wafergard系列的在线PTFE精密气体过滤器，是半导体制造等高端工业场景中用于高纯气体净化的核心过滤部件。

基础品牌信息

• ‌所属品牌‌：美国Entegris（英特格/应特格），1966年创立，总部位于美国马萨诸塞州，是全球微电子行业关键材料净化、保护与输送领域的核心供应商，约80%产品服务于半导体行业。
• ‌品牌定位‌：专注为光刻、湿法蚀刻、薄膜沉积等半导体关键工艺提供污染控制解决方案，是全球高纯气体过滤领域的主流标准供应商。

核心型号参数

• ‌产品类型‌：在线式PTFE气体过滤器，专为超纯气体、惰性气体和反应性气体过滤场景设计。
• ‌接口规格‌：采用1/4英寸外螺纹VCR兼容接口，产品总长度为127毫米（5.00英寸）。
• ‌核心材质‌：滤芯为疏水PTFE膜，由模压PFA结构支撑；外壳采用电抛光低硫316L不锈钢材质。
• ‌过滤性能‌：微粒移除等级≥0.0015微米，颗粒保留率大于99.9999999%（9 LRV），下游洁净度可达到小于0.03个颗粒/升（大于0.01μm）。
• ‌工况耐受‌：最高工作温度120°C，最大入口压力可达7.0MPa，氦泄漏测试等级为2×10⁻¹⁰ atm-cc/秒。

适用场景

• 核心适配场景：半导体制造全品类工艺气体净化，覆盖超纯气体、一般氮气和CDA（清洁干燥空气）应用。
• 拓展适配场景：可用于含臭氧的反应性气体过滤，专为高流量、低压降的工业应用场景优化设计。