WGFGT1PR1是美国Entegris（英特格/应特格）Wafergard® SG系列的精密气体过滤器

WGFGT1PR1是美国Entegris（英特格/应特格）Wafergard® SG系列的精密气体过滤器，是光伏、显示及半导体制造场景中用于高纯气体净化的核心过滤部件。

基础品牌与系列归属

• ‌所属品牌‌：美国Entegris（英特格/应特格），1966年创立，总部位于美国马萨诸塞州，是全球微电子行业关键材料净化、保护与输送领域的核心供应商，约80%产品服务于半导体行业。
• ‌产品系列‌：归属于Wafergard® SG YY系列气体过滤器，主打高纯度气体的微粒过滤，可最大化光伏电池和显示面板制造的生产良率。

核心性能参数

• ‌过滤精度‌：对所有直径大于0.0015 µm的颗粒，去除效率超过‌99.9999999%‌。
• ‌处理能力‌：适配惰性气体的最大流量可达80 slpm，属于点使用端的高效低成本过滤方案。
• ‌材质配置‌：过滤膜为疏水含氟聚合物PTFE，支撑结构和外壳采用聚砜材质，膜面积为25 cm²（3.9 in²）。
• ‌接口规格‌：支持Rc1⁄4 (PT1⁄4内螺纹)、1⁄4” NPT内螺纹两种连接方式。

典型应用场景

• 核心适配场景：光伏工艺气体净化、显示制造工艺气体净化，可安装在气柜、阀组箱、气体面板等位置。
• 通用拓展场景：低进气过滤、晶圆输送系统配套、清洁干燥空气（CDA）净化等工业场景。