LGMXFPRR4是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Linegard™ MAX-FP系列精密气体过滤器

LGMXFPRR4是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Linegard™ MAX-FP系列精密气体过滤器，是半导体等高端工业场景中用于压缩空气和惰性气体净化的主流经济型过滤产品。

基础品牌信息

• ‌所属品牌‌：美国ENTEGRIS（英特格/应特格），是全球微电子污染控制领域的核心供应商，约80%产品服务于半导体行业，专注为光刻、湿法蚀刻、薄膜沉积等工艺提供流体净化解决方案。
• ‌产品系列‌：归属于Linegard™ MAX-FP气体过滤器产品线，定位中等流量非关键应用的经济型过滤方案。

核心型号参数

• ‌接口规格‌：1/2" 公VCR兼容接口，产品总长度127.0毫米（5.00"）。
• ‌过滤精度‌：气体中微粒移除等级≥‌0.0015 µm‌，氦泄漏等级达1×10⁻¹⁰ Pa·m³/秒。
• ‌主体材质‌：316L不锈钢外壳，内饰表面处理为25微英寸镭；隔膜为聚四氟乙烯，支撑物为聚丙烯，O型圈采用氟橡胶(FKM)。
• ‌操作工况‌：最高工作温度60°C，最大入口压力0.7 MPa，最大正向压差0.41 MPa，最大反向压差0.2 MPa。
• ‌流量表现‌：紧凑型大直径滤芯设计，可实现高流速、低压降，最大处理能力可达1000 slpm。

适用场景

• 核心适配介质：压缩干燥空气(CDA)和各类惰性气体。
• 典型应用场景：仪表空气、气刀、吹扫/排气管线、连接装置和干燥器的气体净化，适配中等流量的非关键工艺过滤需求。