WG2FT1RR2是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Wafergard® II F微型在线超纯气体过滤器

WG2FT1RR2是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Wafergard® II F微型在线超纯气体过滤器，是半导体行业高纯气体输送系统的核心精密过滤元件

核心规格参数

• ‌接头规格‌：1/4" 垫片密封，兼容VCR接头公端入口/出口
• ‌产品长度‌：84.1 mm（3.31"）
• ‌过滤精度‌：可去除≥0.0015微米的颗粒，颗粒截留率≥99.9999999% @ 25°C
• ‌内表面光洁度‌：≤7 μin Ra（Ra <0.17 μm）
• ‌最高正向压差‌：7 巴（102 psid），最高反向压差2.5 巴（36 psid）
• ‌最高工作温度‌：120°C（248°F）
• ‌初始下游清洁度‌：大于0.01 μm的颗粒≤0.03个，满足半导体超纯制程要求

产品核心特点

• 全金属紧凑型设计，体积小巧，可直接适配多数现有气体输送系统，无需额外改造管路
• 支持特殊烘烤工艺，可实现快速气体输送启动，低压差设计保障稳定的材料输送效率
• 专为CVD工具使用点、热N₂、TEOS和高k等高温半导体应用场景定制
• 无需通电即可运行，运行噪音为0dB，整机重量仅0.5kg，安装适配性极强