WG2F40RR3是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的‌Wafergard® II F 微型在线气体过滤器

WG2F40RR3是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的‌Wafergard® II F 微型在线气体过滤器‌，属于半导体行业高纯气体输送系统的核心精密过滤元件

核心产品定位

• 所属系列为ENTEGRIS Wafergard® II F 微型在线气体过滤器，专为半导体、平板显示器、数据存储等高端制程场景设计
• 适配散装气体输送、薄膜沉积、干蚀刻、离子注入、光刻等对气体洁净度要求极高的工艺环节
• 是同系列WG2F02RR2的大流量规格版本，在气路中承担高精度颗粒拦截作用

关键规格参数

• ‌过滤材质‌：烧结316L不锈钢，颗粒保留率≥95%（针对直径大于0.3μm的所有颗粒）
• ‌外壳材质‌：焊接316L不锈钢，内部表面光洁度符合高纯流体标准
• ‌适配工况‌：最高工作温度可达400°C（752°F），适配惰性气体高温应用场景
• ‌结构特性‌：紧凑型全金属设计，可直接适配标准气体管线，安装无需额外改造管路
• ‌下游洁净度‌：可将气路下游颗粒物控制在极低水平，满足半导体AMC污染控制要求