WG2F02RR2是美国ENTEGRIS（英特格）品牌的Wafergard® II F Mini XL系列在线气体过滤器

WG2F02RR2是美国ENTEGRIS（英特格）品牌的Wafergard® II F Mini XL系列在线气体过滤器，是半导体高纯气体管路中常用的精密过滤元件

核心规格参数

• ‌接头规格‌：1/4" Gasket seal，兼容VCR接头公端进出接口
• ‌产品长度‌：127.0 mm（5.00"）
• ‌过滤材质‌：烧结316L不锈钢，可去除所有直径大于0.3μm的颗粒，去除率超95%
• ‌最高工作温度‌：400°C（752°F），适配惰性气体高温工况
• ‌最大工作压差‌：最高可达10.4 MPa（104 bar，1508 psid）

产品核心特点

• 紧凑型全金属结构，可直接替代标准1/4"规格的VCR垫圈，无需额外占用管路空间
• 自带对齐保持器，可轻松插入标准气体管线，安装便捷
• 专为高压、高温应用场景设计，可有效保护气路后端关键精密部件免受颗粒物损坏
• 在ISO认证设施中生产，洁净度符合半导体行业高纯制程要求