SVTG02TQ1是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的工业级气体过滤器

SVTG02TQ1是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的工业级气体过滤器，目前市场上有全新原装未拆封的现货供应属于半导体超纯气体系统常用的精密过滤元器件。

核心产品信息

• ‌品牌归属‌：美国ENTEGRIS（英特格），是全球半导体领域知名的高纯流体过滤解决方案供应商。
• ‌产品定位‌：属于Wafergard系列在线气体过滤器，专为超纯气体管线设计，适配半导体制造、平板显示等高端制程场景。
• ‌现货状态‌：与同系列SVEG01P01、SVTG01TQ1型号同步流通，国内正规代理商渠道可快速调货。

同系列参考特性

作为同系列的PTFE材质气体过滤器，它具备这类产品的典型优势：

• 滤芯采用疏水PTFE膜搭配PFA支撑结构，兼容绝大多数惰性、反应性特种气体。
• 外壳为电抛光316L不锈钢材质，下游清洁度可达‌<0.03颗粒/升（>0.01μm）‌，满足半导体严苛的AMC控制要求。
• 颗粒过滤效率≥99.9999999%（9 LRV），氦泄漏率可达2×10⁻¹⁰ atm-cc/s级别。