SVTG01TQ1是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）Savana® AT系列的10英寸0.2μm精度液体过滤器

SVTG01TQ1是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）Savana® AT系列的10英寸0.2μm精度液体过滤器，专为半导体湿法工艺的化学品纯化场景设计。

🔧 核心产品参数

• ‌规格配置‌：10英寸标准长度，过滤精度0.2μm，无K（无排气口）、无PW（无预湿处理）基础款配置
• ‌核心材质‌：疏水PTFE滤膜搭配PFA支撑结构，封装FKM O型圈，整体耐强腐蚀
• ‌膜面积‌：10英寸规格对应过滤面积0.8㎡，可满足中等流量化学品过滤需求
• ‌运行工况‌：25℃下最大正向压差0.51MPa，最大反向压差0.35MPa，最高工作温度120℃
• ‌下游洁净度‌：可将大于0.01μm的颗粒控制在极低水平，适配超纯化学品输送要求

📌 典型应用场景

• 核心行业：半导体制造、平板显示、生命科学、大宗化工纯化
• 适配场景：腐蚀性酸碱湿法蚀刻、晶圆清洗、电镀工艺的工具点过滤，中等温度下非脱气化学品和溶剂的经济高效过滤
• 性能优势：在金属析出控制要求不高的场景下，可大幅降低过滤环节的综合使用成本，适配高性价比的量产制程需求