SVEG01P01是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Savana®系列PTFE气体过滤器

SVEG01P01是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Savana®系列PTFE气体过滤器，是半导体超纯气体管路中常用的核心过滤部件。

🔧 核心产品参数

• ‌核心材质‌：采用PTFE褶滤膜搭配PP支撑件与模塑部件，亲水性/疏水性膜无需预润湿
• ‌适配规格‌：属于70mm直径滤芯规格，适配5"~40"的标准滤芯安装尺寸
• ‌化学兼容性‌：对溶剂、去离子水、稀酸碱都有优异的耐腐表现，适配多种化学工况
• ‌下游清洁度‌：可实现超纯气体管线的高精度微粒过滤，适配半导体洁净工艺要求
• ‌运行特性‌：启动时间短，整体使用成本更低，适配点使用和 bulk 过滤场景

📌 典型应用场景

• 核心行业：半导体制造、生命科学净化、平板显示生产
• 适配场景：超纯气体柜、气体面板、阀门歧管箱、晶圆处理相关的高纯气体输送环节
• 性能优势：紧凑型设计可减少气箱占用空间，PTFE膜过滤效率高，压力降更低，可降低低蒸气压气体冷凝风险，兼容各类半导体工艺气体