GPUS35FWX04R00CA是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Wafergard MAX系列在线气体纯化器

GPUS35FWX04R00CA是美国ENTEGRIS（英特格/应特格）品牌的Wafergard MAX系列在线气体纯化器，是半导体制造领域的高纯度气体处理核心部件。

🔧 核心产品参数

• ‌颗粒保留效率‌：≥99.9999999%（9 LRV），可去除所有最具穿透性尺寸的颗粒
• ‌下游清洁度‌：可将大于0.01μm的颗粒控制在小于0.03个颗粒/升（<1个颗粒/ft³）
• ‌杂质控制能力‌：挥发物（银）中H₂O和O₂含量<10 ppb，THC含量低于5 ppb的检测下限
• ‌外壳材质‌：电抛光低硫316L不锈钢，内部表面处理可达≤7 μin Ra的高洁净等级
• ‌运行工况‌：最高工作温度120°C（248°F），最大正向压差7巴（102 psid），最大反向压差2.5巴（36 psid）
• ‌质保周期‌：银级版本提供3年官方质保
• ‌适配场景‌：专为半导体先进制程的高纯气体管线设计，适配高压、高温的严苛工况

📌 典型应用场景

• 核心行业：5nm及以下先进节点的半导体芯片制造
• 核心作用：在高纯气体供应链路中深度去除微量氧、水汽和纳米级颗粒，避免工艺偏差
• 适配工艺：先进逻辑芯片、LED、OLED电子元件的薄膜沉积等关键制程，保障器件良率与长期可靠性