MIDAS-E-XCF是霍尼韦尔MIDAS系列的2年期智能气体传感 cartridge

MIDAS-E-XCF是霍尼韦尔MIDAS系列的2年期智能气体传感 cartridge，属于工业级特种PFC类气体检测专用模块，主要面向半导体制造等含氟特种气体泄漏监测场景。

核心基础属性

• ‌检测对象‌：可同时检测六氟丁二烯（C₄F₆）、八氟环戊烯（C₅F₈）、二氟甲烷（CH₂F₂）等多种PFC类气体
• ‌检测量程‌：C₄F₆ 0~40ppm，其余对应气体量程匹配该区间
• ‌产品形态‌：预校准即插即用传感盒，需搭配MIDAS-T-004抽取式变送器使用，检测CH₂F₂时需额外加装MIDAS-T-NP1热解器模块
• ‌传感原理‌：热解器+三电极电化学检测，保障低浓度下的检测稳定性

关键技术参数

• ‌传感器寿命‌：常规工况下≥24个月，属于2年延保款传感模块
• ‌响应时间‌：t62.5 ≤ 45秒，重复精度<±10%实测值，线性误差<±20%实测值
• ‌采样能力‌：支持最长30米FEP采样管路，采样流速约500mL/min
• ‌报警阈值‌：C₄F₆一级默认报警点为4ppm，可通过主机菜单自定义调整

典型应用场景

• 半导体晶圆制造工艺区的含氟特种气体泄漏监测
• 光伏新能源、特种化工行业的PFC类气体安全预警
• 实验室、密闭受限空间内的二氟甲烷等制冷剂泄漏检测