MIDAS-E-HFX是霍尼韦尔MIDAS系列中专门用于检测三***（BF₃）气体的智能传感器模块

MIDAS-E-HFX是霍尼韦尔MIDAS系列中专门用于检测三氟化硼（BF₃）气体的智能传感器模块，属于工业级特气侦测核心部件，主要面向半导体等对特种腐蚀性气体监测要求极高的场景。

核心产品定位

• ‌检测对象‌：三氟化硼（BF₃），量程为‌0~8.0ppm‌，属于半导体制造工艺中常用的特种有毒气体
• ‌产品形态‌：预校准智能传感器盒，可直接适配MIDAS系列气体探测器主机，更换后无需现场重新标定
• ‌所属体系‌：属于霍尼韦尔MIDAS抽取式气体检测系统的核心传感单元，支持最远30米远程采样

核心技术参数

• ‌采样流速‌：500毫升/分钟，气体传输响应时间仅2~30秒
• ‌配套功能‌：支持板载电子校准证书，搭载Reflex传感器健康检查、TempraSure温度补偿技术
• ‌接口能力‌：可通过主机实现3路C型继电器输出、0-22mA模拟输出、Modbus/TCP以太网通讯，支持以太网供电（PoE）
• ‌适配场景‌：半导体加工、特种化工、航空航天等对BF₃泄漏监测有严格要求的工业环境

产品核心优势

• 整机提供2年原厂保修，工厂预校准可大幅降低现场频繁气测的运维成本
• 搭载背光LCD大屏与直观LED状态灯，支持密码保护的分级操作菜单，抗射频干扰能力强
• 内置抽取式气泵设计，常规工况下使用寿命可达2年，适配空间紧凑的复杂工业现场安装