低空气入口滤清器
晶圆传输系统
清洁干燥空气 (CDA)
规格
性能数据
产品规格
材料膜：疏水性氟聚合物聚四氟乙烯 支架，外壳。
输入：PFA推荐流量30标准升每分钟连接1/8", 1/4" 压缩密封膜面积12 厘米2 (1.9 英寸2)颗粒保留>99.9999999%去除所有直径大于0.0015微米的颗粒（在最穿透粒子尺寸下验证）操作条件最大工作压力：
20°C时为0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid） 最大正向差压：0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C 最大反向差压：0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C 最高工作温度：50°C (122°F)维度长度:1/8" 密封: 69 毫米 (2.7”)
1/4" 密封: 71.5 毫米 (2.8”) 直径：21.5 毫米 (0.85”)
配件
Wafergard
GT-Plus 在线气体过滤器 配件
JPMFJK001
6.34 毫米 (1/4") PFA 压缩卡套和螺母，用于 Wafertard
GT-Plus 气体过滤器
零件编号
Wafergard
GT-Plus 在线气体过滤器 部件编号