一、产品概述
作为一个提取式气体取样系统，MIDAS气体探测器能在本地或从一个远程点提取一个样品到位于探测器机架内的传感器盒。可以提供较广范围的毒气、可燃气体和氧气传感器盒，以便实现半导体和其他生产工业中使用或产生的气体探测。
MIDAS®气体探测器由四部分构成：主机架、安装托架底座、传感器盒和机壳。（注：用于 NF3 探测的可选热解器模块和用于连接外部 4-20 mA 装置的可选模拟模块。）
二、侦测器探头选型
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描述 |
范围 |
探头型号 |
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氨 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-NH3 |
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砷化三氢 |
0-0.2 ppm |
MIDAS-E-ASH |
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三氯化硼 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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三氟化硼 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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溴 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-BR2 |
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氯 |
0-2 ppm |
MIDAS-E-HAL |
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二氧化氯 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-BR2 |
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三氟化氯 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-SF4 |
|
二氧化碳 |
0-2.0% vol |
MIDAS-E-CO2 |
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一氧化碳 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-COX |
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硼乙烷 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-HYD |
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二氯甲硅烷 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
|
乙硅烷 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-SHX |
|
氟 |
0-4 ppm |
MIDAS-E-HAL |
|
锗烷 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-HYD |
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氢 |
0-1000 ppm |
MIDAS-E-H2X |
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氢 |
0-100% LEL1 |
MIDAS-E-LEL |
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溴化氢 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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氯化氢 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-HCL |
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氰化氢 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-HCN |
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氟化氢 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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硒化氢 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-HSE |
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硫化氢 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-H2S |
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甲烷 |
0-100% LEL1 |
MIDAS-E-LEL |
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一氧化氮 |
0-100 ppm |
MIDAS-E-NOX |
|
二氧化氮 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-NO2 |
|
三氟化氮 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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氧气 |
0-25% v/v |
MIDAS-E-O2X |
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臭氧 |
0-0.4 ppm |
MIDAS-E-O3X |
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磷化氢 |
0-1.2 ppm |
MIDAS-E-PH3 |
|
氯氧化磷 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-POC |
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硅烷 |
0-20 ppm |
MIDAS-E-SHX |
|
硅烷（低级别） |
0-2 ppm |
MIDAS-E-SHL |
|
二氧化硫 |
0-8 ppm |
MIDAS-E-SO2 |
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四氟化硫 |
0-0.8 ppm |
MIDAS-E-SF4 |
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四乙基原硅酸酯 |
0-40 ppm |
MIDAS-E-TEO |
|
六氟化钨 |
0-12 ppm |
MIDAS-E-HFX |
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